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          公司新聞/Company News
          干式真空泵的冷卻方式介紹   干式真空泵主要在半導體行業、化學工業、薄膜產業得到應用于發展。國外的干泵市場正處于蒸蒸日上的階段,如日本,半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,而歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,大大提高了產品的性能和質量。   為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,國外有螺桿式真空泵、多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、往復式活塞真空泵、渦旋式真空泵以及渦輪式無油真空泵等。干泵極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。   干式真空泵工作時,相互之間無摩擦,運轉平穩,噪音低,工作腔無需潤滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵。由于螺桿制成變螺距結構,與等螺距結構相比,極限真空更高,而消耗功率更低,具有節能,免維修等優點。它是油封式真空泵的更新換代產品。   很多泵轉子卡死的原因是吸入含有粉塵及結晶的物質、高溫發生聚合的物質、熱敏性物質的升華造成轉子間的縫隙被堵死,另外一個原因是由于長期運轉,轉子會由于熱脹冷縮而發生形變,造成泵的卡死。   干式真空泵的冷卻方式:   目前市面上的干泵多用夾套冷卻水對轉子進行冷卻。   而有的立式螺桿真空泵的冷卻系統更獨特,比如在泵內增加了螺桿內部冷卻劑冷卻及直接氣體冷卻,很好的維持內表面的溫度,不至于溫度過高或過低,始終維持在一個合適的溫度,以防被抽的熱敏性物質分解,及高溫易聚合的物質,比如HCN及MMA生產企業就比較適合。